兰州某研究所在研究 BCx 薄膜的结构特征、力学性能和摩擦磨损性能试验中采用伯东 KRI 考夫曼 RFICP140 作为溅射源, 溅射碳化硼靶和石墨靶（纯度均为99.9%）,在 CrMoAl 齿轮钢和 Si（100）表面沉积 BCx 薄膜

伯东 KRI 考夫曼 RFICP140 技术参数:

试验结论:

相同的沉积时间内, BCx 薄膜的厚度随石墨靶电流的增加逐渐增大, 硬度、弹性模量逐渐降低,微观形貌的柱状结构特征越来越明显;增加石墨靶电流可以提高BCx薄膜的摩擦学性能, 当石墨靶电流为 2.4A 时, BCx 薄膜的摩擦因数稳定在 0.2 左右, 且具有更佳的耐磨性能。

KRI 的独特功能实现了更好的性能, 增强的可靠性和新颖的材料工艺. KRI 已经获得了理想的薄膜和表面特性, 而这些特性在不使用 KRI 技术的情况下是无法实现的.

伯东是德国  , , , , 美国  , 美国HVA 真空阀门, 美国  , 美国 Ambrell 和日本 NS 等进口品牌的指定代理商.

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