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一种带真空度调节系统的探针台

本实用新型涉及一种带真空度调节系统的探针台,包括探针台和真空度调节系统,探针台包括壳体和壳体盖,壳体盖与壳体密封配合形成测试腔,测试腔中设有测试台和测试探针,壳体壁上设有气体进口和抽真空气口。真空度调节系统包括与气体气氛管路和抽真空管路,气体气氛管路上设有气体流量计,抽真空管路上设有真空泵和带步进电机的真空蝶阀。真空蝶阀位于真空泵的上游。步进电机连接有控制器,壳体上设有真空计,真空计与控制器连接。控制器采集真空计的数值来调节真空蝶阀的开度,以维持探针台测试腔中设定的真空值,气体气氛管路上通过气体流量计控制输入的气氛气体流量,能够向测试腔施加不同真空度及不同气体气氛环境,增加探针台的使用范围。

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