中山市海泰真空设备有限公司也逐步的开发出了等螺距、变螺距转子型线，并在转子和机体冷却方面做了很多研究螺杆泵的技术关键问题。

真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。

该真空系统的控制系统由先进的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。

变频螺杆真空系统的特点：

1、清洁环保：工作腔内无润滑油，为干式真空泵，有利于介质回收，可获得清洁真空，工作过程中无废油、废水排放，对环境无污染，是环保真空设备。

2、真空度高：转子型线优化设计，采用德国五轴联动复合加工中心精密加工而成，单泵极限压力≤1Pa，，高真空区抽气量大，工作效率高，功耗低。

3、防腐可选设计：根据不同抽气介质，过流部件有钛材料、不锈钢、纳米陶瓷、喷涂NIP合金等多种材质及防腐镀。

热处理用真空系统的好处：

1、基本上无公害。

2、真空热处理可实现无氧化、无脱碳、无渗碳加热。

3、零件经真空热处理后，畸变小，质量高。

4、有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。

5、真空加热炉可在较高温度下工作。

6、某些化学热处理，如渗碳、渗氮、渗铬、渗硼，以及多元共渗速度较快，省时间，效率较高。        

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