不同的真空系统要求的真空度不同
不同的真空系统要求的真空度不同，高真空一侧能达到系统要求的真空度，而低真空一侧是直排大气的。
因此往往必须由一套真空机组来完成，但高真空系统一般需要三级机组，中真空一般需要二级机组。一台高真空泵和一台低真空泵难于组成有效的高真空机组。这有几方面的原因。高真空泵都有前级耐压的限制，即前级高于某一压力，泵就不能正常工作。而当前级泵达到这一临界压力时，往往抽速会减小，这样前级泵的排气流量可能会小于主泵的排气流量，这种流量的不一致破坏了流量连续性的要求，必然会引起真空机组不能正常工作。
真空泵，兰佳真空泵产品
高真空机组往往需要三级机组的另一个原因归结于高真空泵的吸入压力的限制。即由工作在不同压力范围的真空泵串接起来，泵都有起始工作压强，特别是对于周期性抽气的真空机组，对达到工作真空度的时间是有要求的，预抽时间越长，进入工作真空度的时间也越长，这样可以使系统尽快地进入工作压力，保证了设备的使用效率。真空泵
罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵，分子增压泵有很高的压缩比，这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能，同时在中真空范围也有超强的抽气能力。所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。
具体地讲由于分子增压泵耐压高，所以可使前级泵易于处于高流量状态；而分子增压泵吸入压力高，减缓了前级泵的预抽负担。因此，机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组，取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。
真空机组
对于较大型的高真空应用设备，也可适当加强前级泵的预抽能力，进一步缩短抽气时间，由于预抽时间与整个排气过程相比很短，所以前级泵的使用时间也很短，因此可以兼作多套设备的预抽作用，而这往往是非常现实的。这就使规模化应用的真空机组得到大大的简化。
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