矽旺无氧烤箱AO-2DS FC（针对晶圆产品）




矽旺无氧烤箱AO-2DS FC特点： 
无氧烤箱AO-2DS FC针对晶圆产品的连续烘烤，满足测试要求和老化验证需求。同时采用快速风冷设计模块，缩短整个工艺时间。烘烤放置于12英寸和8英寸金属料盒中的晶圆片。






AO-2DS FC无氧烤箱规格参数
·电源       AC380V，三相， 50Hz；
·内胆尺寸   W600*D500*H610 mm (双工作腔)
·外部尺寸   W1280xD790xH1720 mm
·功率     18Kw
 
注：客户12英寸料架尺寸：W368xL310xH217mm. 2个/腔，上下各一个摆放；
    客户8英寸料架尺寸：W216xL217xH247mm. 4个/腔，上二下二摆放；




了解更多：http://www.hapoin.com/oven/ao-2ds_fc.htm








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