AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机AMSEMI
AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机AMSEMI
——支持各种膜类,包括预切割膜、非预切割膜、DAF膜等。


AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机特点:
·自动滚轴贴膜技术;
·手动放置和取出晶圆/承载环;
·自动胶膜进给和贴膜;
·支持各种膜类,包括预切割膜、非预切割膜、DAF膜、特种膜类;
·自动圆形切刀用于非预切割膜的切割;
·自动收卷衬纸,适用于UV膜和非UV膜;
·晶圆台盘温度可编程控制,{zg}可达120℃;
·标准8”晶圆台盘用于8”晶圆,可配置金属台盘或高密度陶瓷台盘;
·PLC控制,带5.7”触摸屏;
·配置光帘保护功能,和紧急停机按钮;
·三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;


AMSEMI AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机规格参数:
贴膜原理        自动滚轴贴膜技术;
晶圆直径        8”&12”;
晶圆厚度        50~750微米;
晶圆种类        正常的V型缺口晶圆;
膜种类          预切割膜、DAF膜、非预切割膜、或者UV膜;
                宽度:290毫米预切割膜/DAF膜;
                320毫米UV/非UV膜;
                长度:100米;
                厚度:0.05~0.2毫米;
晶圆承载环      8”DISCO 或者K&S标准;
贴膜定位精度    ±1mm;
装卸方式        手动晶圆/承载环放置与取出;
防静电控制      去离子风扇;
台盘温度        室温~ 120℃,可编程控制;
切割系统        环型切刀用于8”DISCO承载环;
控制单元        基于PLC 控制,带5.7”触摸屏;
安全防护        配置光帘保护和紧急停机按钮;
电源电压        单相交流电220V,16A;
压缩空气        60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺;
机器结构        全铝型材制造,坚固耐用;
体积            800毫米(宽)*1450毫米(深)*1980毫米(高);
净重            350公斤;


AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机性能:
晶圆收益        ≥99.9%;
贴膜质量        没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);
每小时产能      ≥80片晶圆;
MTBF            >500小时;
MTTR            <1小时;
停机时间        <3%;


AMSEMI矽旺半导体名称及型号:
半自动晶圆贴膜机(减薄前)   ATW-08/ATW-12
半自动晶圆撕膜机(减薄后)   ADW-08 plus/ADW-08
半自动贴膜机 (基板切割)    AMS-12 
半自动晶圆贴膜机(预切割膜) AMW-08 AT  
半自动晶圆贴膜机(切割膜)   AMW-08/AMW-12


衡鹏供应

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