AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机AMSEMI
上海衡鹏企业发展有限公司
AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机AMSEMI
——支持各种膜类,包括预切割膜、非预切割膜、DAF膜等。
AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机特点:
·自动滚轴贴膜技术;
·手动放置和取出晶圆/承载环;
·自动胶膜进给和贴膜;
·支持各种膜类,包括预切割膜、非预切割膜、DAF膜、特种膜类;
·自动圆形切刀用于非预切割膜的切割;
·自动收卷衬纸,适用于UV膜和非UV膜;
·晶圆台盘温度可编程控制,{zg}可达120℃;
·标准8”晶圆台盘用于8”晶圆,可配置金属台盘或高密度陶瓷台盘;
·PLC控制,带5.7”触摸屏;
·配置光帘保护功能,和紧急停机按钮;
·三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;
AMSEMI AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机规格参数:
贴膜原理 自动滚轴贴膜技术;
晶圆直径 8”&12”;
晶圆厚度 50~750微米;
晶圆种类 正常的V型缺口晶圆;
膜种类 预切割膜、DAF膜、非预切割膜、或者UV膜;
宽度:290毫米预切割膜/DAF膜;
320毫米UV/非UV膜;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
晶圆承载环 8”DISCO 或者K&S标准;
贴膜定位精度 ±1mm;
装卸方式 手动晶圆/承载环放置与取出;
防静电控制 去离子风扇;
台盘温度 室温~ 120℃,可编程控制;
切割系统 环型切刀用于8”DISCO承载环;
控制单元 基于PLC 控制,带5.7”触摸屏;
安全防护 配置光帘保护和紧急停机按钮;
电源电压 单相交流电220V,16A;
压缩空气 60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺;
机器结构 全铝型材制造,坚固耐用;
体积 800毫米(宽)*1450毫米(深)*1980毫米(高);
净重 350公斤;
AMW-08 AT半自动晶圆预切割膜贴膜机性能:
晶圆收益 ≥99.9%;
贴膜质量 没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);
每小时产能 ≥80片晶圆;
MTBF >500小时;
MTTR <1小时;
停机时间 <3%;
AMSEMI矽旺半导体名称及型号:
半自动晶圆贴膜机(减薄前) ATW-08/ATW-12
半自动晶圆撕膜机(减薄后) ADW-08 plus/ADW-08
半自动贴膜机 (基板切割) AMS-12
半自动晶圆贴膜机(预切割膜) AMW-08 AT
半自动晶圆贴膜机(切割膜) AMW-08/AMW-12
衡鹏供应
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