真空机组，将手动碟阀改进成了气动高真空挡板阀，手动三通阀也改进成了二个独立的电磁气动前级阀与预抽阀（与镀膜机机组结构相同）。改进后的机组有如下功能与特点：
1.1 气动高真空档板阀改变了手动碟阀原有的关闭不严、蝶阀Ｏ形圈容易被玻璃渣划伤、容易漏气的缺陷；且电磁气动阀使自动保护成为可能。
1.2 新的高阀是侧管与排气总管联接，碎玻璃不能直接掉落在阀盖上，避免了O型圈易被碎玻璃扎坏，延长了使用寿命和维修周期
1.3 由于前级阀和预抽阀为独立的了，彻底杜绝了原三通阀串气的毛病，大大提高了真空度的抽速。
1.4 增加了暴大气自动保护功能并伴有声、光报警；提高了扩散泵使用寿命。
1.5 增加了扩散泵炉丝断相声、光报警。
1.6 突然断电时，也能迅速关高阀、关前级、保护扩散泵。
２、 热屏蔽箱：
2.1 （1）、热屏蔽箱为提升式。上、下移动由原来的电动葫芦吊链改为有减速机、滑轮、平衡配重铁通过钢丝绳来完成的升降运动，并在立柱上装有安全活动保险杆，上、下装有极限碰停，箱体到位后，减速机自动停止工作。（配重平衡铁设置在立柱之内，安全性好。）
2.2 热屏蔽箱框架、内衬板、内反射架均采用了高温防变形设计。框架设计了防变形伸缩缝；内衬板、内反射架的设计采用了防变形拼装式；安装固定孔也设计为可伸缩孔。
2.3 热屏蔽箱内壁设计了二层不锈钢板，内衬不锈钢板隔热防腐防锈，再加一层不锈钢热反射板，减少热辐射，大大提高了保温性能。
2.4 热屏蔽箱的保温层选用了保温性能较好的硅酸铝棉粘，保温性能好。
2.5 由于改善了保温设计，加热功率大大减少，而加热时间不变或减少。
