型号有：SP-30 SP-70 SP-100 SP-150 SP-200 SP-300 SP-400 SP-500 SP-600 SP-1000 SP-1500等
特点：没有工作液，不污染系统； 无震动、无噪声； 工作压强范围宽（1×10-4-1×10-11托）； 寿命长，在1×10-7托工作寿命可达30年；
不用真空计可知真空度； 不用检漏仪可对系统进行检漏。
应用：加速器 表面物理 储存环 材料研究 电子显微镜 宇宙模拟 质谱仪 大功率激光研究 真空电子器件
技术指标 型号
SP-200 SP-400 SP-600 SP-1000
抽速（升/秒） 2极 220 440 620 1100
3极 180 360 500 880
极限压强（托） 1×10E-11
{zg}烘烤温度（ o C） 300
{zg}启动压强（托） 2极 10E-4
3极 10E-3
工作电压（KV） 2极 +6
3极 -6
重量（kg） 77 144 210 290
自速成烘烤（KW） 0.72 0.99 1.42 1.98
三极泵与二极泵的不同特点除了上表所列差异外，三极泵对惰性气体的抽速大得多。
