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ステージ面サイズ[mm] 60×60
マイクロ位置 サイド
回転中心高さ[mm] 100±0.2
回転中心振れ精度 0.01mm以下
移動量[mm] ±3.0°
マイクロメータ最小読取 ≒18″/目盛
移動ガイド クロスローラガイド
耐荷重 5.0kgf【49.0N】
許容モーメント荷重ピッチ[N･m] 1.5
許容モーメント荷重 ヨー[N･m] 2
許容モーメント荷重 ロール[N･m] 2.6
モーメント剛性 ピッチ[/N･cm] 0.27″
モーメント剛性 ヨー[/N･cm] 0.09″
モーメント剛性 ロール[/N･cm] 0.10″
自重[kg] 0.3
材質‐表面処理 アルミ‐黒アルマイト
