磷检炉是在真空条件下，在亚气保护下利用硅区熔时，硅中磷、硼的有效分凝系数的差别及磷、硼从硅中蒸发速率的差别来检验硅多晶棒的电子专用设备。
1、原料规格 Φ 20 ?150mm
2、成品规格 Φ 15 ?200mm
3、上下轴{zd0}行程 300mm
4、上轴快速升降速度 0～180mm/min
5、上轴慢速升降速度 0～6mm/min
6、下轴快速升降速度 0～180mm/min
7、下轴升降速度 0～6mm/min
8、上下轴转速 0～66r/min
9 、真空度 ≤3pa
10、高频感应加热电源 2.3MHz
