高真空探针台
¥：98000.00
高真空探针台：
真空探针台可实现高真空环境下的高温及低温电学性能测量，真空腔一体成型，具有设计合理，真空度稳定，温控精度及机械精度高等特点；根据测试温度范围不同，可单选高温或低温等相应组件，温度可达到400℃，低温部分采用液氮或液氦冷却组件，温度可低至-190℃，；真空系统可选机械泵或分子泵系统，真空度可达到10-3Torr或10-6Tor。
高真空探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
高真空探针台参数：
|
真空腔体 |
|
|
腔体材质 |
304不锈钢 |
|
上盖开启 |
铰链侧开 |
|
加热台材质 |
304不锈钢 |
|
内腔体尺寸 |
φ160x90mm |
|
观察窗尺寸 |
Φ70mm |
|
加热台尺寸 |
φ60mm |
|
观察窗热台间距 |
75mm |
|
加热台温度 |
﹣190~400℃ |
|
加热台温控误差 |
±1℃ |
|
真空度 |
机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
|
允许正压 |
≤0.1MPa |
|
真空抽气口 |
KF25真空法兰 |
|
气体进气口 |
3mm-6mm卡套接头 |
|
电信号接头 |
SMA转BNC X 4 |
|
电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V |
|
探针数量 |
4探针 |
|
探针材质 |
钨针 |
|
探针尖 |
10μm |
|
探针移动平台 |
|
|
X轴移动行程 |
30mm ±15mm |
|
X轴控制精度 |
≤0.01mm |
|
Y轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Y轴控制精度 |
≤0.01mm |
|
Z轴移动行程 |
13mm ±12.5mm |
|
Z轴控制精度 |
≤0.01mm |
|
电子显微镜 |
|
|
显微镜类别 |
物镜 |
|
物镜倍数 |
0.7-4.5倍 |
|
工作间距 |
90mm |
|
相机 |
sony 高清 |
|
像素 |
1920※1080像素 |
|
图像接口 |
VGA |
|
LED可调光源 |
有 |
|
显示屏 |
8寸 |
|
放大倍数 |
19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm |
