纳米级硅溶胶应用于半导体蓝宝石CMP氧化硅抛光液

磨料载体：

硅溶胶作为磨料的主要载体，在抛光过程中提供磨料的分散和固定，并在抛光过程中释放磨料以实现材料的研磨和去除。

控制抛光速度：

硅溶胶的粒径分布可以影响抛光速度和表面质量。通过调整硅溶胶的粒径及相关参数，可以实现对抛光速度的 控制，提高生产效率。

表面质量改善：

硅溶胶胶粒的细小尺寸有助于填补微小的表面缺陷，提高抛光的表面质量。它能够平滑表面、去除划痕和瑕疵，实现更光滑和均匀的表面。

控制抛光压力：

硅溶胶作为抛光液中最主要成分，可以调节抛光液的黏度和流动性，从而控制抛光时的压力。适当的抛光压力有助于提高抛光的速率，同时避免划伤或其他抛光缺陷，实现抛光效率和抛光质量的平衡。

热稳定性：

硅溶胶具有良好的热稳定性和耐热性，它能够在研抛过程中保持研抛介质温度的基本稳定，减少热应力对设备和产品的影响，并提供持久的抛光性能。

优势：

1.超高纯度硅溶胶以降低污染和表面缺陷的风险

2.大胶粒尺寸的硅溶液以实现更好的抛光速度并保证产品的表面质量