PFA花篮带提手PFA显影花篮耐腐蚀可定制承载硅片

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    南京滨正红仪器有限公司

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    PFA花篮(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花蓝 ,特氟龙卡匣 , 特氟龙晶舟盒 ,特氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器,耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),能做激光雕刻,能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。

    主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,可搭配PFA把手使用。

     

    二、参数

    名称

    规格

    耐温性

    应用

     

    PFA花篮

    PP Cassette

     

    2寸

    -200~260℃

    酸碱传输制程

    4寸

    6寸

    三、特点

    1.耐腐蚀:耐受强酸强碱

    2.搭配可活动把手,用于晶圆芯片清洗运输

    3.耐高低温:-200~260℃

    4.耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;

    5.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;

    6.低的溶出和析出,确保晶圆芯片无污染

     

    7.化学性能稳定

    公司拥有三十多年PFA制品生产加工经验,公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发,截止目前,公司推出的光伏用--太阳能硅片花篮,太阳能硅片承载器,硅片花蓝,,半导体清洗花篮。

     

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