小型蒸镀仪
¥：38600.00
设备名称
小型蒸镀仪
控制方式
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
溅射电源
直流热蒸发电源
镀膜功能
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
功率
≤1500W
输出电压电流
电压≤12V 电流≤100A
真空
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa
溅射真空
≤30Pa
挡板类型
电控
真空腔室
石英腔体φ160mm x 160mm
样品台
可旋转φ62 （可安装φ50基底）
样品台转速
8转/分钟
蒸发坩埚容积
70-140mm
蒸发温度调节
3ml
蒸发温度调节
≤1600℃
真空测量
皮拉尼真空计（已安装 测量范围10E5Pa 1E-1Pa）
预留真空接口
KF25抽气口 KF16放气口 6mm卡套进气口
