技术规格:
- 基底尺寸:3英寸,4英寸,6英寸;
- 基底旋转:8转/分钟;
- 热蒸发源:电阻式热蒸发舟,交流电源;
- 腔体:不锈钢或石英腔体可供客户选择;
- 泵:前级干泵,分子泵;
- Load Lock样品传输腔室:手动或自动传输,高真空,支持多种样品衬底(选配);
- 工艺控制:PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存;
- 原位监控:石英晶振监测(QCM),光学监测,残余气体分析,其他原位监测技术或控制;
- 衬底固定:单衬底固定,客户化衬底固定方式;
- 衬底夹具:加热,冷却,偏置,旋转等;
- 保护样品:配有样品挡板,可手动或自动开/关挡板,达到及时遮挡样品效果;