质量流量计外置式气体配比器
面议
质量流量计外置式气体配比器KT-C4ZS按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加
该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
配置1质量流量
2单向阀单向出气
3触摸屏控制，5段可编程序（时间-流量随意设置定值）
4采用316金属管道耐腐蚀性强
用途1半导体制造行业中气体流量控制
2各种真空镀膜设备
3特种材料表面处理
5混合配气系统
6环境监测与分析设备
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产品型号 |
KT-PCS4Z |
KT-C4ZS |
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气体通道 |
4进1出 |
4进1出 |
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可根据需求定制 |
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产品类型 |
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制 |
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可选量程 |
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选) |
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产品精度 |
高精度型±1％F.S |
普通型±1％F.S |
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重复精度 |
高精度型±0.2% F.S |
普通型±0.2% F.S |
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线性 |
高精度型±0.5% F.S. |
普通型±1% F.S. |
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响应时间 |
高精度型≤2sec |
普通型≤4sec |
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工作温度范围 |
(5~45)°C |
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供电电源 |
~85-265VAC 50/60Hz |
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最 大功耗 |
40W |
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进气口压 |
≤0.6MPa |
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连接管道 |
316不锈钢管道 |
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截止阀类型 |
电磁阀 |
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单向阀开启压力 |
0.02Mpa |
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压力显示量程 |
0-0.6Mpa |
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控制方式 |
7寸触摸屏智能调节 |
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时间设定 |
0-32000分钟 |
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清洗功能 |
一键清洗 |
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程序控制 |
5段可编程序(时间-流量随意设定值) |
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压力显示 |
有（出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路） |
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气体混合罐 |
有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀） |
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气体加热 |
无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温至350℃可调） |
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流量累计 |
有（累计当前运行总流量） |
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可选进出气口接头形式 |
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头 |
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抗电磁干扰 |
有 |
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外形尺寸 |
550x380x400mm |
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重量 |
18KG～20KG |
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