真空小型蒸镀仪
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真空小型蒸镀仪KT-Z1650CVD
► 设备一体化设计，占地面积小，价格优惠，性能稳定，使用维护成本低；
► 设备兼容有机蒸发与无机蒸发，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；
► 适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；
► 适用于蒸发镀膜与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接，广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜 
115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟 
115A 120秒 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
真空小型蒸镀仪KT-Z1650CVD
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控制方式 |
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
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加热方式 |
数字式功率调整器 |
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镀膜功能 |
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
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最 大功率 |
≤1200W |
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最 大输出电压电流 |
电压≤12V 电流≤120A |
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真空度 |
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa |
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挡板类型 |
电控 |
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真空腔室 |
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
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样品台 |
可旋转φ62 （最 大可安装φ50基底） |
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样品台转速 |
8转/分钟 |
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样品蒸发源调节距离 |
70-140mm |
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蒸发温度调节 |
≤1800℃ |
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支持蒸发坩埚类型 |
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 |
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预留真空接口 |
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
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可选配扩展 |
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa） 数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa） 分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa） |
