小型真空探针台高温热台KT-0904T-R
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会
越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误
差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵
抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,探针座位于腔体外部,可以在不破坏真空度的同时调整探针达到理想位置进行测量。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
小型真空探针台高温热台KT-0904T-RL参数
真空腔体 |
|
类型 |
加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃ |
腔体材质 |
304不锈钢 |
腔体内尺寸 |
φ90x40mm |
腔体上视窗尺寸 |
Φ42mm(选配凹视窗Φ22mm) |
腔体抽气口 |
KF16 |
腔体进气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体出气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
腔体正压 |
≤0.05MPa |
腔体真空度 |
机械泵≤5Pa (5分钟) 分子泵≤5E-3Pa(30分钟) |
样品台 |
|
样品台材质 |
304不锈钢 |
样品台尺寸 |
26X26mm |
样品台-视窗 距离 |
30mm(可选凹视窗间距15mm) |
样品台测温传感器 |
A 级PT100铂电阻 |
样品台温度 |
室温到350℃(可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃) |
样品台测温误差 |
±0.2℃ |
样品台变温速率 |
高温10℃/min 低温5℃/min |
温控仪 |
|
温度显示 |
7寸人机界面 |
温控类型 |
标准PID温控 +自整定(可选30段编程控温) |
温度分辨率 |
0.1℃ |
温控精度 |
±0.5℃ |
温度信号输入类型 |
PT100热电阻 (可选 K S B型热电偶) |
温控输出 |
直流线性电源加热(液氮流量线性控制液氮制冷) |
辅助功能 |
温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 |
探针 |
|
电信号接头 |
配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米 |
电学性能 |
绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA |
探针数量 |
4探针(可定做6探针) |
探针材质 |
镀金钨针 |
探针尖 |
10μm |
探针移动平台 |
|
X轴移动行程 |
12mm ±6mm |
X轴控制精度 |
≤5μm |
Y轴移动行程 |
12mm ±6mm |
Y轴控制精度 |
≤5μm |
Z轴移动行程 |
12mm ±6mm |
Z轴控制精度 |
≤5μm |
数码显微镜 |
|
显微镜类别 |
物镜放大+电子放大 |
显微镜放大倍数 |
100倍 |
显微镜工作间距 |
50-150mm |
相机分辨率 |
1080P 60帧 |
相机信号输出 |
HDMI输出+USB输出 |
LED可调光源 |
LED光源 |
显示屏 |
5寸 屏幕一体机 |