TSF600 高精密挠性线路系列干膜光阻剂

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    TSF600 高精密挠性线路系列干膜光阻剂是一种具备高解析度、高附着力的全水溶性干膜光阻剂,专用于高精密挠性线路板。具有优良的密着性、解像度,可有效地提高高密度线路板形成时的良品率。

    特色及优点

    高分辨率 -1-2 mil 线宽/线距

    优质的贴合度-高良率

    高附着力-高良率

    特有的感光速度 -60-80 mj/cm2能量可达7级曝光尺(21级)

    优越的剥膜性能和快的褪膜速度

    项目
    单位
    TSF608
    备注
    厚度
    μm
    20

    感度*1
    mj/cm2
    65

    最短显影时间
    sec.
    11

    附着力*1*2(L/S=X/250)
    μm
    18

    解析度*1*2(L/S=X/X)
    μm
    18

    *1:TSF608(SST=6/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光机制作(UVE-HSP5K-11

    *2:1wt%Na2CO3,30℃,最短显影时间x2

    *3:20μm 线路和SEM图像。



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