SF500 挠性线路系列干膜光阻剂

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    SF500 挠性线路系列干膜光阻剂是一种具备高解析度、高附着力的全水溶性干膜光阻剂,专用于性线路板以及内层蚀刻工艺。具有优良的密着性、解像度,可有效地提高高密度线路板形成时的良品率。

    特色及优点

    高分辨率 -1-2 mil 线宽/线距

    优质的贴合度-高良率

    高附着力-高良率

    特有的感光速度-50-60 mj/cm2 能量可达7级曝光尺(21级)

    优越的剥膜性能和快的褪膜速度

    项目
    单位
    SF510
    SF512
    备注
    厚度
    μm
    25
    30

    感度*1
    mj/cm2
    45
    55

    最短显影时间
    sec.
    13
    15

    附着力*1*2(L/S=X/250)
    μm
    21
    25

    解析度*1*2(L/S=X/X)
    μm
    20
    20

    *1:SF512(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光机制作(UVE-HSP5K-11

    *2:1wt%Na2CO3,30℃,最短显影时间x2

    *3:分辨率、解析度以及显影后图像。



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