1、使用工作台前,先用蘸有擦拭液的纱布擦拭台面,确保工作台上没有灰尘。
2、接通电源,开启送风机。
3、工作台面上,不要存放不必要的物品,若放置纸张,请置于用自封袋内,以持工作区内的洁净气流不受干扰。
4、操作结束后,清理工作台面,收集各废弃物,关闭风机及照明开关,用清洁剂擦拭,切断电源。
5、要保持室内的干燥和清洁。潮湿的环境既会使材料锈蚀,影响电气电路的正常工作,另外潮湿空气还助长xx、霉菌的滋生。
时常维护超净室环境的设备,使之处于良好工作状态是保证洁净度的前提。相应设备包括柜式空调机、风淋室、使室内洁净度达1000级的循环净化送风系统、洁净度达100 级的光刻区层流罩净化送风系统及净化涂胶台和工作台。循环净化送风系统为单机送风,使室内保持正压。送风形式为上送、侧下回,经初效、中效、{gx}三级过滤,设计风量3000m3/h , 风压410Pa。 风淋室设置于超净室入口处,用于吹除工作人员身上的浮尘,是进入室内的关口。风淋时,先设定时间,若需加热,可打开温控开关。根据需要调节喷口角度以提高风淋效率。
超净工作台一般采用超薄型无隔板过滤器 过滤效率为:99.999%@0.3um静态百级将静压箱尺寸缩到最i小 再配以不锈钢台面和玻璃侧挡板使整顿秩序个工作室显得宽敞明亮。超净工作台采用可调风量送风系统轻触型开关调节风速 使工作区风速处于理想状态风机采用直驱式{gx}离心风机 具有长寿命、低噪声、免维护、震动小。方便拆卸式大风量预过滤粗效过滤器 更好地保护{gx}过滤器 且保证风速。
超净工作台分垂直、水平流形 开放台式 操行方便。工作台里面采用可调风量送系统 旋钮型无级调节风速 使工作区风速处于理想状态。