四甲基氢氧化铵 75-59-2 Tetramethylammonium hydroxide 工业催化剂 贵金属催化剂 化学xx 季铵盐
用途：在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等,氨基硅油、201甲基硅油、硅橡胶等有机硅类产品聚合中的催化剂。当水溶液使用时，可用作合成RT培司催化剂，亦可用于聚酯类聚合物、纺织、皮革、木材加工、电子、电镀等行业，也是极谱实验支持液
四甲基氢氧化铵（TMAH或TMAOH）是一种分子式为 N(CH3)4+ OH− 的季铵碱，也是这类化合物中最简单的一种。这种物质只在五水合物时是一种相对稳定的固体形态。商业上，TMAH通常以浓的水或甲醇溶液的形式销售。其固体和溶液均为无色，不纯时为黄色。纯净的TMAH几乎没有气味，但样品常有强烈的鱼腥味，因其含有三甲胺的不纯物。TMAH有大量、广泛的工业和科研用途，例如在黄光制程中当显影液(去光阻液)。
中文名称：
四甲基氢氧化铵
中文别名：
四甲基氢氧化铵溶液;
四甲;
显影液TMAH;
英文名称：
Tetramethylammonium hydroxide
英文别名：
tetreamethyl ammonium hydroxide;
Developer;
TMAH;
AR-300-49;
ocg945;
nmw-w;
TRITONNE;
AZ-300MIF;
TMNOH;
AZ-726;
nmd3;
CAS号：
75-59-2
分子式：
C4H13NO
分子量：
91.15210
xx质量：
91.09970
PSA：
23.06000
LogP：
0.14560
外观与性状：
无色结晶（常含三、五等结晶水），熔点68-71℃，极易吸潮，在空气中能迅速吸收二氧化碳，130℃时分解为甲醇和三甲胺，通常使用有10％；25％水（或醇）溶液和含结晶水化合物。
密度：
0.866 g/mL at 25 °C
熔点：
°C
沸点：
110 °C
闪点：
80 °F
折射率：
n20/D 1.384
稳定性：
Stable. Flammable. Incompatible with strong oxidizing agents, strong acids.
储存条件：
2-8°C
蒸汽压：
17.5 mm Hg ( 20 °C)
含量：99%
