等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态、当外加电压大道气体的放电电压时,气态被击穿,产生包括电子、各种离子、原子核自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高,但是重粒子温度很低,整个体呈现低温状态,所以称为低温等离子体。