传感技术是当今世界发展最为迅速的高新技术之一。新型传感器不仅追求高精度、大量程、高可靠、低功耗和微型化,并且向着集成化、多功能、智能化和网络化的方向发展,以满足工业、农业、国防和科研等各个领域的需求。光纤传感技术是20世纪70年随着光纤技术和光通信技术的发展而迅速发展起来的。它表了新一传感技术的发展趋势。光纤传感器的产业已被国内外公认为具有发展前途的高新技术产业之一,它以技术含量高、经济效益好、渗透能力强、市场前景广等特点为世人所瞩目。
接触电容式高温压力传感器的温度效应
随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,微小尺寸的半导体传感器得到快速发展。半导体传感器具有体积小、重量轻、精度高、成本低、温度特性好等优点,其制造工艺和半导体平面工艺兼容,满足传感器向智能化和集成化发展的需要。从航空航天、石油化工用的仪器到涡轮发动机、内燃机的监测和控制,越来越多的领域都要求工作温度在200℃以上的压力传感器。常见的高温压力传感器材料有多晶硅、石英、 SiC、SOI(Silicon on Insulator)、SOS(蓝宝石上硅)等。SOI的低压、低功耗、电隔离等优势,提高了传感器对恶劣环境的适应性,基于硅隔离SOI技术的耐高温压力传感器得到了广泛应用。相对于硅压阻式压力传感器,电容式压力传感器具有低噪声、高灵敏度、低温漂、动态变化范围大等显著优点。
微波感应控制器和市场上常见的简易型微波感应控制器相比较,因为采用专用的微处理集成电路HT7610A,不但检测灵敏度度高,探测范围宽,而且工作非常可靠,误报率极低,能在-25~+45度的温度范围内稳定工作,最适和在中、防盗报警系统中作人体移动检测传感头使用。
微波感应控制器使用直径9厘米的微型环形天线作微波探测,其天线在轴线方向产生一个椭圆形半径为0~5米(可调)空间微波戒备区,当人体活动时其反射的回波和微波感应控制器发出的原微波场(或频率)相干涉而发生变化,这一变化量经HT7610A 进行检测、放大、多重比较以及延迟处理后由白色导线输出电压控制信号。