公司长期致力于真空泵维修保养fu务,以真空泵维修经验跟大家分享下真空泵维修一些修理经验。
有些泵,按其极限真空度的指标来说,也并不是很低的,但是生产上却希望它还能提高些,应如何着手呢?
对下面一台新的2X-30型旋片式油封机械真空泵的修理经验就可借鉴。在该泵起初进行试抽时并未发现它有什么大毛病。生产上用它单独抽空希望能稳定地达到热偶真空计75格以上(相当于麦氏训·测的5X10;托),而实际上它比所希望的低不多。
修理时,将其拆卸后测得其主要部位间隙尺寸为:转子切点间隙Q 04 nom,高真空室双面间隙Q 07 mm,低真空室双面间隙a 08 mm,转子比旋片短0 02mm。这些数据与表2来比较,还是正常的范围。
一直以来,真空泵的使用成本是影响人们选择真空泵的重要因素。真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其他部件的损坏。由于真空泵设计为单级设计,同多级真空泵如圆裂片式、爪式以及组合式相比,其在零件的使用数量上减少了百分之六十。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
在真空泵维修中,应注意下述几点:
①该泵制造精度较高,不是非常必要则不必拆开,以免检修不当,降低精度。当然维修工作者应当提高自己的技术水平,在该泵技术性能变差时,应及时修理,{zh0}能定期(一年)检修。
②检修时,将泵从真空系统拆下后,开始检查试抽,确认必须拆泵修理时,可按下列步骤进行:取去护翠,拆下三角皮带及大皮带、排气筒,松开各进气嘴处的压盖,把油放干净后,拆去箱盖和油密封室,取出主轴(不必拆断链条),然后抬出左右机座左右机座是泵的主要部分,拆卸时应仔细、小心、并注意检查各零部件的损伤情况和装配位置,拆下的零部件别放好,以免相互碰伤。