万级开放式无尘室 十万级套件式洁净室 人工智能无尘室

洁净室形式：

非单向流洁净区

单向流洁净区（水平、垂直流向）

合流洁净区

环形/隔离装置
注：混合流洁净区是ISO标准提出的，即把实际早已存在的非单向流洁净室设置了局部的单向流的洁净工作台/层流罩对关键部位进行“点”或“线”的保护，以减少单向流洁净区的面积。

洁净室构造形式：
根据工艺特点进行布置，在满足使用前提下求得经济合理，可分为几下几类：
1、开放式：用于工艺过程对各区洁净度等级需求差别不大的情况下：
优点：灵活性好，便于调整、变更、设计简单、空气处理系统单一。
缺点：高运行费用，对于单向流型回风通道占空间大。
2、套件式：各洁净区按工艺的工序及洁净度等级要求分隔与连通，并进行各区间的压差控制。注：用于实验室类还是要求各自系统独立，不共享。
3、隧道式：是以“线”保护代替“面”保护的典型。
优点：节能，防火分隔简单，安全。
缺点：设计时需仔细，麻烦。施工难度高，灵活性差。
4、微环形+开放式洁净室
5、模块化洁净室：是近年来发展最快的。
FFU的发展对模块化洁净室灵活、方便性更加体现。一般适用于空调参数与所处背景环境基本一致的场合（不需要保温），可满足ISO标准4级及以上。