安徽管式炉PECVD系统销售_4路质子混气管式PECVD系统
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安徽管式炉PECVD系统销售_4路质子混气管式PECVD系统
为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活来促进反应，因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）， 内炉膛表面涂有美进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命。
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