安徽管式炉PECVD系统销售_4路质子混气管式PECVD系统

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    中美合资合肥科晶材料技术有限公司

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    安徽管式炉PECVD系统销售_4路质子混气管式PECVD系统
    为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积法(PECVD), 内炉膛表面涂有美进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。



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