洁净室形式:
非单向流洁净区
单向流洁净区(水平、垂直流向)
合流洁净区
环形/隔离装置
注:混合流洁净区是ISO标准提出的,即把实际早已存在的非单向流洁净室设置了局部的单向流的洁净工作台/层流罩对关键部位进行“点”或“线”的保护,以减少单向流洁净区的面积。
洁净室构造形式:
根据工艺特点进行布置,在满足使用前提下求得经济合理,可分为几下几类:
1、开放式:用于工艺过程对各区洁净度等级需求差别不大的情况下:
优点:灵活性好,便于调整、变更、设计简单、空气处理系统单一。
缺点:高运行费用,对于单向流型回风通道占空间大。
2、套件式:各洁净区按工艺的工序及洁净度等级要求分隔与连通,并进行各区间的压差控制。注:用于实验室类还是要求各自系统独立,不共享。
3、隧道式:是以“线”保护代替“面”保护的典型。
优点:节能,防火分隔简单,安全。
缺点:设计时需仔细,麻烦。施工难度高,灵活性差。
4、微环形+开放式洁净室
5、模块化洁净室:是近年来发展最快的。
FFU的发展对模块化洁净室灵活、方便性更加体现。一般适用于空调参数与所处背景环境基本一致的场合(不需要保温),可满足ISO标准4级及以上。
1一般要求
1.1试验环境
性能试验应在符合下列环境要求的实验室内进行:
a)温度:5℃~35℃;
b)相对湿度: 35%~85%;
1.2供电电源
1.2.1电源电压偏差:额定电压的±10%;
1.2.2电源频率偏差:±2Hz(以额定频率为基准)。
2 试验仪器(风淋室电路板)
2.1 试验仪器应定期送至具有检定资格的计量测试机构进行检定,试验仪器检定并校正合格后才可投入使用,并在规定的有效期内使用。
2.2 试验需要以下仪器:
a) 粒子计数器(粒径分辨率由0.3μm起始);
b) 热球式风速仪,测量误差≤±3%满量程;
c) 声级计,测量范围宜为40 dB(A)~100dB(A);
d) 照度计,测量范围为0 lx ~1000lx;
e) 泄漏电流测量仪;
f) 接地电阻测试仪;
g) 耐压测试仪,输出为50Hz,基本正弦波1500V电压,且持续时间能在1s~60s范围内设定。
3 外观要求
外观要求用目测方法检验。