迈博瑞公司提供的PTFE膜具有较强的疏水性,可以应用于很多领域,尤其是微电子和半导体行业。这种膜可以保护设备免受外部水蒸气,挥发性有机物,酸性气体等的污染。
微电子&半导体行业污染的控制
在环境中存在着多种形式的污染物,这些污染物降低了微电子半导体的可靠性,可采取的控制措施归纳如下:
污染物 | 影响 | 控制措施 |
颗粒 | ●信号减弱 ●短路 | ●{gx}率膜 |
油 | ●信号减弱 ●短路 | ●疏油膜 |
液态水 | ●腐蚀 ●短路 | ●疏水膜 |
微电子半导体
优势:
疏水膜应用:
●助听器 ●手机
●电子控制单元 ●显示(OLED, LCD, LED, etc.)
●便携式电子设备 ●有机剥离剂
●光刻胶 ●化学钝化 ● 导电胶
特点:
● 强疏水性 ● 污染控制
● 保证系统灵敏性 ●长的使用寿命
亲水膜的应用:
●清洗剂(超纯水,N-甲基吡咯烷酮,HF/H2O(DHF))
●显影剂(Stoddart溶液 ,TMAH)
●刻蚀剂(HF/NH4F,acetic acid,H3PO4,HNO3/H2O/HF)
特点:
● 强亲水性 ● 不用预润湿
●干式保存 ● 低成本
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