单一MO源对氨气的使用比例

MO源未来的发展。针对刚才三个不足之处，特别对于水氧的敏感，如何降低对水和氧的敏感。因为周围三个甲基，周围只有六个电子，有接触电子的能力，这个性质不是非常稳定。因为在元素周围要达到八个电子是比较稳定的。采用一些孤电子，像胺、膦。这个表当中列出来的，比如说像这样的MO源，通过有孤类电子的膦，降低它的活性。

二是降低碳沾污，将三甲基镓、三甲基铟、三甲基铝等分子中的甲基替换成异丙基或叔丁基。

三是改进固体三甲基铟源蒸气压的措施。改变封装容器的结构，配置成溶液铟源。制备业态铟源。

四是采用单一的MO源。现在大家也知道我们的MOCVD是用三甲基镓和氨气进行反应，现在氨气用量是非常大的，这么大量的消耗，而MO的消耗通常只有3公斤这样的水平已经是比较多了，而氨气，在3公斤MO的情况下面需要1.5吨，所以这两个比例是非常不协调的。将来可能采用单一的MO源，就是在一个MO当中，就是不需要使用那么多氨气的消化。