RSB-8-2/fujikuraRSB-8-2
压力控制方式是因为采用滚动膜片与计量膜合的伺服平衡方式,可以实现无尘室对应的精密的压力调整的超精密减压阀。
无尘规格
因为部品是不锈钢及氟橡胶,其他的部品全部为非电解镀镍处理,产生的杂质非常少。
歧管安装对应
歧管连接配管可能。
排气口装备
因为排气孔,溢流孔,可以连接排气用配管;排气空气及溢流空气都可以排到无尘室以外。
高精度
可以实现感度0.1%F.S.,反复再现性±0.1%F.S.的高精度控制。
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