体硅太阳能电池选择性扩散(PSG Screen Printing),激光掺杂机是一款在太阳能电池制作过程中用来作选择性重掺提高太阳能电池效率的专用激光设备。利用激光将电池片表面磷源作选择性掺杂形成重掺杂区以降低欧姆接触,结合前道工序的轻掺杂发射结和后道工序的电镀或丝印工艺形成栅极以达到提高电池效率和带负载能力的功效。
本设备将激光技术运用到太阳能硅片表面非接触式激光加工技术,选择一种特殊的新型激光器,配合适当光学系统,在硅表面形成一层刻痕,经过清洗之后对刻痕区域进行掺杂,
{zh1}用电镀或丝印的方式在槽内形成电极,以起到前表面电接触栅极的作用。用这种方法制备的电极度很窄具有很低的表面覆盖率,而且还具有高的纵深比,能够更好地吸收载流子,
可以提高太阳电池的开路电压Voc,短路电流Isc和填充因子F.F.,从而提高光一电转换效率。
Specification:
破片自动检测,碎片率<1‰
自动上下料(可选)
激光功率自动监测