该系统为化学品药液混酸及供应系统,目的是提高化学品的利用率。
1、过滤后的化学品输送到清液tank A或tank B,A 、B tank 有高液位传感器,其中一个满时会切换到另一个。
2、混酸tank C 安装有称重模块,在线显示tank内液体的量,在人机界面先设定需要的氢氟酸浓度,启动泵A往混酸tank C输送清液,然后泵B会启动循环,浓度计会计算出清液的浓度,根据事先设定的氢氟酸浓度,PLC会计算出需要的高浓度氢氟酸量,启动泵D往混酸tank C输送已知高浓度氢氟酸。
3、混酸tank C 循环到目标值后,输送到tank E或tank F,同样有高液位传感器相互切换。
4、混酸tank D的流程跟混酸tank C 同样,两台同时混可以提{gx}率。
5、当蚀刻机台需酸时,启动要酸按钮,气动阀打开,泵启动,往槽内输送酸,蚀刻槽有液位传感器,到高液位会自动停止,供酸结束。