晶圆芯片450度真空充氮烘箱,10pa以下硅晶片真空高温烘箱

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    晶圆芯片450度真空充氮烘箱,10pa以下硅晶片真空高温烘箱

    VOD-210

    产品特点:

    1)迅速脱氧:该箱内胆采用不锈钢制造,箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接,密封性能{jj0},能快速脱氧;

    2){gx}率:稳定和快速的升温性能,有助于提高产品质量和效率;

    3)保温节能:箱体与工作室之间填充高密度纤维棉作保温材料,有效保湿节能;

    4)密封性好:箱门与工作室外框设有耐高温无尘密封条和压紧装置,有效地保证了箱体的密封性能;

    5)置物架:工作室内设计可抽取的载物网板;

    6)美观简洁:设备外形美观,操作简便,控温灵敏准确;

    主要技术参数:

    1电源:AC380V 3φ 50HZ 18KW

    2工作尺寸:W560×D640×H600

       外形尺寸:W910×D990×H1865

    3温度范围:RT+10℃~450

    4升温速率:2 /minute4 /minute

    5降温速率:2 /minute4 /minute(400℃降至100,客户需配冷却塔)

    6外壁材料: 冷扎碳钢板,经防锈处理后静电喷塑,耐划伤;   

    7内胆材料:5mm厚,SUS304不锈钢,不锈钢内外表面抛光

    8保温材料:厚度150毫米硅酸保温棉,保温性能良好;

    9:真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)

    10真空泵: LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);

    11真空度: 10 pa

    12加热元件:四面辐射加热;  

    13电器系统:系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停;   

    14温控输出:SSR输出,欧姆龙继电器,固态继电器

    15安全保护:加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、缺相保护、电炉超温报警等功能。

    晶圆芯片450度真空充氮烘箱,10pa以下硅晶片真空高温烘箱

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