线宽和特征尺寸测量

COMEF图形处理软件的特点是能容易并准确的测量线宽、特征尺寸和栅格。

COMEF测量功能是基于亚像素精度的灰值处理。除了测量功能，COMEF

还可以提供直观的文本文件、数字图像文件和协议文件。

像机接口与现有显微镜的使用

COMEF 有多种接口用于数字USB 2.0像机或者任何种类的模拟CCD像机，

因此该软件十分适合去升级现有的显微镜。

测量精度

测量精度是像机像素的1/10。因此精度取决于像机像素的大小和物镜与像机

芯片之间光学放大率。就一个5um像素和10倍放大来说，精度是50nm。当然，

精度会受衍射等物理因素的影响并依赖于测量物体的数字孔径的物镜分辨率。

彻底的解决方案

IMM 200显微镜工作在明场入射光。配备了无限修正的高质量物镜5倍、10倍、

20倍和50倍。目镜视觉放大结果10倍到50倍、100倍、200倍和500倍。IMM 200

配有X/Y平台（200X200mm）有效冲程。每个位置都可以锁定，然后通过微旋钮

精准的定位。真空晶片夹能在真空吸片时90度旋状，此外还还可以使用为旋钮

进行角度精准定位。显微镜即可用于视觉检测也可与像机相连。使用像机时，

一个TV-tube和不同的TV-adaptions将被使用。