晶圆-----是指硅半导体及电路建造所用的硅芯片,它是建造IC的根来源根基料。操作VLSI制程技巧在硅芯片上建造成各类电路组件结构,而成为有特定电性功效之IC产物。激光晶圆切割机是我公司针对晶圆切割而开发的一款具有国际{lx1}程度的新机型,按照客户的分歧需求,可以搭载分歧的激光器。
晶圆激光切割机操作领域
硅晶片、Ⅲ-Ⅴ晶片划线、切割 ,宝石切割。
晶圆激光切割机技巧特点
采用国际进步前辈技巧的光纤激光器输出激光,具有光束质量高、聚焦光斑精美、激光释放平均、切割不良率极低、体积小,质量轻、应用利便等特点;且成本较低,xxx高。采用355nm紫外激光器(冷光源)作为光源,热效应区域小、切边质量高,切割后晶粒的电参数机能优于机械加工方法。激光切割属于非接触式切割,解决了传统机械式切割中硅片极易脆裂的标题。大年夜大年夜提高硅片切割的出产效率及制品率,可完整更调现有的机械切片方法,同时设置装备摆设高精度的二维工作平台CCD定位系统,实现切割轨迹的准确独霸,是晶圆切割行业的{zy}选择。SLS-JY-5W系列机种是一款专门为知足新型、xx组件的需求而设计的激光微细切割设备, 采用原装进口之5W紫外激光器作为光源。高精度运动平台搭配慎密扭转台,设置装备摆设高精度CCD图像处置惩罚系统,实现从送料、切割主动化过程。
晶圆激光切割机技术参数:
切割幅面:{zd0}幅面300mm x 300mm
切割速度:30-600mm/s X/Y
轴传动精度:+/- 3 µm
重复精度:+/- 1.5 µm
旋转精度:±0.001度
{zd0}激光功率:5W
激光波长:355nm
{zd0}切割深度:20µm -800µm (视材料而定)
电力需求:220V/单相/50Hz/35A
消耗功率:约 8KW
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