光学轮廓仪，深圳光学轮廓仪
规格 NT9100 NT9300 NT9800
测试功能 非接触式，适用于三维形貌，表面，薄膜，摩擦学
物镜 1.5倍，2.5倍，10倍，20倍，50倍，可达0.75至100倍放大倍数，可选长工作距离，可选自动物镜旋转台
视场放大镜 0.55，0.75，1，1.5，2倍 0.55倍，0.75倍，1，倍，1.5倍，2倍，自动感应机动选择器，分级放大
垂直测量范围 标配0.1nm至10nm
垂直分辨率 小于0.1nm
垂直少秒速率 24μ米/S 25μ米/S 80μ米/S
RMS重复率 0.05nm
横向采样间隔 0.1—13.2μ米
光学分辨率 最小可达0.49μ米
