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本器は、除電工程での除電器性能とその除電器から発生するイオンのバランス（除電バランス）を検知します。
除電器は、定期的に除電電極性能をチェックし、電極針の汚れなどによる除電性能の低下や除電バランスを検知することで、効率的で確実な除電を行なうことができます。特に半導体で使用される除電器の場合は、バランスのとれていない状態では逆帯電となり、デバイスを逆に帯電し、破壊することになります。
■特長
?帯電用直流電源が内臓され、帯電板にその場で帯電させ、除電器の性能がチェックできます。
?小型、軽量で、狭い場所での除電性能をチェックするのに最適です。
?除電器の除電バランスをチェックし、除電性能を数値で管理できます
