技术数据表
MINITEST740主机用SIDSP探头
探头
特性 F1.5，N0.7，FN1.5 F2 F5，N2.5，FN5 F15
F N F F N F
测量范围 0－1.5mm 0－0.7mm 0－2mm 0－5mm 0－2.5mm 0－15mm
使用范围 小工件，薄涂层，跟测量支架一起使用 粗糙表面 标准探头，使用广泛 厚涂层
测量原理 磁感应 电涡流 磁感应 磁感应 电涡流 磁感应
信号处理 探头内部32位信号处理（SIDSP）
xx度 ±（1μm+0.75%读值） ±（1.5μm+0.75%读值） ±（5μm+0.75%读值）
重复性 ±（0.5μm+0.5%读值） ±（0.8μm+0.5%读值） ±（2.5μm+0.5%读值）
低端分辨率 0.05μm 0.1μm 1μm
最小曲率半径（凸） 1.0mm 1.5mm 5mm
最小曲率半径（凹，外置探头） 7.5mm 10mm 25mm
最小曲率半径（凹，内置探头） 30mm 30mm 30mm
最小测量面积 Φ5mm Φ10mm Φ25mm
最小基体厚度 0.3mm 40μm 0.5mm 0.5mm 40μm 1mm
连续模式下测量速度 每秒20个读数
单值模式下{zd0}测量速度 每分钟70个读数
主机
型号
特性 MINITEST 720 MINITEST 730 MINITEST 740
探头类型 内置探头 外置探头 内置外置可换
