美国进口等离子去胶机/清洗机

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    供应美国等离子去胶清洗机(美国PE公司),产品xxx极高,操作简单,

     

    工艺稳定性好。针对不同的工艺尺寸,分为三个型号。

      

    型号一: PE50      用于4英寸工艺

     

    Remarks:

     

    n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 6”*6*4

     

    n     Electrode Configuration, Silngle 5”*5 Horizontal

     

    n     RF Generator & Matching Network 125W, 50KHz

     

    n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

     

         Control, 0~25 CC/min

     

    n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

     

    n     Vacuum Pump, 5 CFM, Oxyger Service

     

    n     Process Sequence, Single

     

    n            AC Input 120V, 50Hz, 15A

     

     

     

     

    型号二:PE100      用于8英寸工艺

     

    Remarks:

     

    n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 12”*12*12

     

    n     Electrode Configuration, Three 9”*9 Horizontal

     

    n     RF Generator & Matching Network 300W, 13.56MHz

     

    n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

     

         Control, 0~50 CC/min

     

    n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

     

    n             Vacuum Pump, 8 CFM, Oxyger Service

     

     

    型号三:PE200      用于12英寸工艺

     

    Remarks:

     

    n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 17”*14*14

     

    n     Electrode Configuration, Three 13”*13 Horizontal

     

    n     RF Generator & Matching Network 300W, 13.56MHz

     

    n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

     

         Control, 0~200 CC/min

     

    n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

     

    n     Vacuum Pump, 29 CFM, Oxyger Service

     

    如您需要小规模生产型的去胶机,请直接致电我公司,我们会推荐更合适

     

    的型号并报价给您。

     


     

     

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