中频真空镀膜机一般要配一台冷水机作为镀膜机（主要是圆柱靶）的冷却设备.
中频设备必须加冷却水，原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会聚集在电导有表面积，这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。镀膜冷水机在主要配置方面我们均采用优质进口元器件:
1、日本三洋或美国谷轮压缩机；
2、304不锈钢膨胀水箱；
3、台湾邦普微电脑控制器；
4、LG交流接触器,LG热继电器，CKC相位制；
5、台湾高低压带油压力表；
6、毛细管节流装置,美国艾柯干燥过滤器；
7、翅片式冷凝器,盘管式蒸发器；
8、水泵:台湾源立泵。
保护装置：1、缺相逆相保护装置；2、电机过载保护装置3、高低压压力保护装置；4、缺水自动报警装置；5、温度过低,防结冰保护装置.
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