无尘烤箱技术指标
1.产品特点:
◆内、中桶材质采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,外膛采用SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE) ;
◆全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生PARTICLE;
◆耐高温,能有效过滤微尘而达到洁净等级class100#;
◆叠层组合式,减少场地占用面积,效率高。
2.无尘烤箱适用范围:LCD、CMOS、IC制程烘烤。
3.无尘烤箱技术参数:
型 号 |
SPQ3-80 |
SPQ3-100 |
SPQ3-150 |
内部容积 |
80L |
100L |
125L |
内部尺寸 |
50×40×40 |
50×45×45 |
50×50×50 |
内尺寸表示为:W×H×D 宽×高×深 单位:cm |
|||
功率(KW) |
3.0 |
3.5 |
4.0 |
系 统 |
PID智能调节或可编程PID自动调节 |
||
温度范围 |
RT+10℃~200℃ |
||
温度偏差 |
±1.0℃ |
||
波 动 度 |
±0.5℃ |
||
洁 净 度 |
100级 |
||
内体材料 |
SU304不锈钢板 |
||
外箱材料 |
SU304不锈钢板或防锈处理冷轧钢板(喷塑) |
||
保温材料 |
超细玻璃棉 |
||
加 热 器 |
镍铬合金电热式加热器 |
||
循环系统 |
轴流风机 |
||
控制系统 |
高精度微电脑型LED显示温度控制器或LCD显示温度控制器 |
||
标准配置 |
样品架2层、电源线1条 |
||
可选配置 |
测试孔(¢25m位于门上)、增加的样品架 |
注:另外可按照客户需求尺寸定做产品。