反渗透(膜分离)技术的应用使超纯水制备从传统的阳离子交换器、脱碳、阴离子交换器、复合离子交换器、混合近年来开始在国外推广应用的EDI(电去离子)技术,则是超纯水制造技术的一次革命,从此进入了一个无需再生化学品,而能生产出高达18MΩ·CM的超纯水,用于半导体、集成电路等行业。