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主要包括以下几个方面：1）充分调查故障现象，首先对操作者的调查，详细询问出现故障的全过程，有些什么现象产生，采取过什么措施等。然后要对现场做细致的勘测；2）查找故障的起因时，思路要开阔，无论是集成电器，还是和机械、液压，只要有可能引起该故障的原因，都要尽可能全面地列出来。然后进行综合判断和优化选择，确定最有可能产生故障的原因；3）先机械后电气，先静态后动态原则。在故障检修之前，首先应注意排除机械性的故障。再在运行状态下，进行动态的观察、检验和测试，查找故障。而对通电后会发生破坏性故障的，必须先排除危险后，方可通电。
1.2故障诊断要求。
除了丰富的专业知识外，进行数控故障诊断作业的人员需要具有一定的动手能力和实践操作经验，要求工作人员结合实际经验，善于分析思考，通过对故障机床的实际操作分析故障原因，做到以不变应万变，达到举一反三的效果。完备的维修工具及诊断仪表必不可少，常用工具如螺丝刀、钳子、扳手、电烙铁等，常用检测仪表如万用表、示波器、信号发生器等。除此以外，工作人员还需要准备好必要的技术资料，如数控机床电器原理图纸、结构布局图纸、数控系统参数说明书、维修说明书、安装、操作、使用说明书等。
制约机电一体化设备可靠性的元素
机电设备，从数字操控到伺服电机，各种大大小小的零件都有很多，无法计算，要想单方面的去评测分析是非常困难的，要想提高其可靠性必须要先了解好制约其发展的因素：1、元器件是每个大型设备都会具有的基础单元，关系到每个基础单元的可靠性运行。用数学的概论法来计算来看，整个设备的元器件失效等于各个结合部分的是效率的总和，所以说在挑选设备零件时，一定要加大提高其实际使用效果；2、机电一体化设备的电子控制系统复杂繁琐，元器件的接连与组合便是一个关键的问题，要是组合得不好，很有可能会导致设备发生意外事件或者无法正常运转。还有，温度的湿度变化太频繁以及太多的粉尘也会影响元器件的连接与组装，进一步制约机电一体化设备的可靠性；3、机电一体化设备是用电能去发功的电子控制设施，在运转的过程中必然会有电磁波的能量感应及运用，所以说电磁波的干扰也会影响设备的工作进度。与此同时电磁波干扰了周边环境，也对生产的产品有了一些不良的影响，所以必须要尽量控制电磁波的干扰现象。
二、采用可靠的元器件
数字控制机床还有加工中心在现代社会一形成了全自动化的实时控制系统，运用可靠性较高的元器件去加速设备的运转工作，可以使控制系统在出现机械故障的时候快速的运用诊断方案去找到原因，并及时处理，减少机电一体化设备的损耗。但这个办法都是要中途停止正在运作的设备才能找出故障原因。但只要能及时的发现故障所在，并能够去及时维修处理，损伤还是可以降到一定程度的。
三、提高机器工作效率
机器的工作效率的直接关系到设备生产产品的快慢的，而适当的提高机器的工作精密程度，便可以把机电一体化设备的可靠性提高一个层次的研究。如适当的提高运转精密度、加工精密度、系统控制精密度、机械工作功率等，都能更好的提升设备的可靠性。像能够运用精细的仪器去制造改进老旧的机械设备；利用现代先进的电路设计去改善原有的电路控制，加快机器的电路流通；运用先进的NC（数据化体统控制）、PC（电脑控制系统）等去替换老旧的控制系统，更新电子数字控制系统等等。以上这些方法，只要能够合理运用，都能或大或小的提高机电一体化设备的可靠性研究。
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