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UV光氧废气处理设备高能紫外线灯管发射的高能紫外线产生的光子所具有的能量必须大于恶臭气体分子的分子键结合能，才能将恶臭气体分子裂解。
混合气体中需要有足够的含氧量，才能产生足够的游离态氧和臭氧与裂解后的恶臭气体分子基团结合产生无污染的低分子化合物。因此不适应处理浓度过高的废气，如处理高浓度废气时，应相应的补充一部分新鲜风以增加含氧量。
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