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便携式 ASM 310
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 便携式 ASM 310 设计紧凑, 重量仅 21kg, 占用空间小, 前级泵清洁无油, 通用电压, 满足无污染工艺要求. 便携式 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪中轻便紧凑的产品!
便携式 ASM 310 特性：
1. 集成无油真空系统: 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 +
2. 支持真空或吸枪检漏模式, 重量仅 21 Kg
3. 氦气抽速 1.1l/s, 进气口压力 15 hPa
4. 丰富的可选配件: 吸枪, 遥控器, 小推车, 标准漏孔等, 兼容 RC 10 遥控器
5. 带有可伸缩手柄的灵巧设计
6. 可以在任意位置操作: 水平或垂直, 较低的维护
7. USB 接口, 方便数据传输,
8. 带有图像功能的大屏幕高亮度彩色触摸屏, 10种语言可选
便携式 ASM 310 技术参数：
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便携式
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ASM 310
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对氦气的最小检测漏率
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真空模式 5E-13 Pa m3/s
吸枪模式 1E-8 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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无油前级泵抽速
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1.7m3/h
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检测气体
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4He , 3He, H2
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响应时间
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<1s
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对氦气的抽气速度
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1.1 l/s
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进气法兰
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DN 25 ISO-KF
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进气口压力
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15 hPa
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通讯接口
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RS-232
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工作温度
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10-40 °C
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噪音水平
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< 45 dB (A)
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Interface
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RS-232, I/O, USB
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电压
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90-240 V AC, 50/60 Hz, 通用电压
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功耗
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300 VA
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启动时间
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< 2 min
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尺寸
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350 X 254 X 415 mm
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重量
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21 kg
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便携式 ASM 310 尺寸：
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便携式 ASM 310 常用配件:
Pfeiffer 便携式 ASM 310 应用：
1. 半导体, 镀膜, 太阳能
2. 分析仪器, 科研, 加速器质谱
3. 工业, 电厂, 化工
4. 系统集成
上海伯东检漏仪客户案例
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半导体用光刻机检漏, 整机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用负压法检漏. 漏率设置 5x10-11pa m3/s.
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内部集成红外探测器的 2m3 杜瓦封装器件, 应用于火星探测项目, 杜瓦封装器件采用真空模式检漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.
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超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 为保证较高的真空度, 需要对整个真空系统的焊缝, 法兰口等怀疑有漏的地方进行泄漏检测. 为保证实验腔体的清洁干燥, 选择前级泵为干泵的氦质谱检漏仪
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