X 射线管是工作在高电压下的真空二极管, 包含有两个电极: 一个是用于发射电子的灯丝, 作为阴极, 另一个是用于接受电子轰击的靶材, 作为阳极. 两极均被密封在高真空的玻璃或陶瓷外壳内, 管内真空度不低于 1E-4 Pa. 上海伯东客户某公司是一家专业从事数字化 X 射线平板探测器研发生产企业, 考虑到产品生产在无尘室, 采购上海伯东 ASM 340D 用于生产过程中的X射线管泄漏检测.
在生产和使用过程中为了达到以下三个目的, 需要对 X射线管进行氦质谱检漏
1. 保护灯丝不被氧化, 氮化,延迟灯丝寿命;
2. 减少空气分子对X射线的衰减;
3. 避免空气分子被电离发出辉光影响效果
上海伯东 方法: X射线管在生产过程中和封装完成后, 均需要进行
生产过程中采用氦质谱检漏仪真空法测试, 把检漏仪 ASM 340D和射线管通过定制的夹具连接起来, 设定判断产品合格的漏率值 1E-10 Pa m3/s. 启动氦质谱检漏仪, 把X射线管抽至1E-4Pa的真空度, 待真空度稳定后在管件外部(如连接部位, 焊接部位等)喷氦气, 如果泄漏量超过设定值, 检漏仪会报警并提示测试人员, 及时发现不良产品.
封装完成后,采用氦质谱检漏仪“背压法”检漏, 将被检封装激光芯片放入真空保压罐, 压力和时间根据漏率大小设定, 取出封装激光芯片, 使用空气或氮气吹扫表面氦气后, 利用氦质谱检漏仪吸枪法, 用吸枪对封装 X 射线管表面进行嗅探, 从而判断是否有漏.
ASM 340 技术参数：
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型号
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ASM 340 D
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对氦气的最小检测漏率
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5E-13 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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进气口最 大压力 hPa
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25
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前级泵抽速 m3/h
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隔膜泵 3.4
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重量 kg
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45
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X 射线管在医学上用于诊断和治 疗, 在工业技术方面用于材料的无损检测, 结构分析,光谱分析和底片曝光等, 医学方面常用于计算机断层扫描 ct 设备, x射线衍射设备, x射线医学影像成像设备等.
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