静电xx系统

过去传统静电消散应用为风机类，正负离子因为是同时释放需要很大的风量把离子带出来，应用在先进制程无尘室内的环境系统，则会破坏层流因此不适用

。

而耀群的静电消散系统为脉冲直流型，也就是正负离子会交替间隔释放，也是目前世界上符合无尘室环境内使用的商用电离器。

**双极性空气电离及和绝缘体带电

绝缘体是无法将自身的正负离子通过接地导走的，所以只能使用电离设备产生正负离子将绝缘体表面的正负离子中和掉，异性相吸，同性相斥。

**无尘室去离子系统规范标准

1. 所有系统中的静电xx器都会做{bfb}的校验和测试

2. 所有程序都会依照静电协会S3.1标准执行

**静电xx器2300s介绍

•          xx的数字技术

•          24V直流

•          单晶硅针尖

•          先进的反馈技术（专利）

•          符合SEMI F47规范及UL, CE, GS规范

•          带有LED报警灯

•          消电快，平衡电压稳定，安装快捷

•          洁净，性能{gx}，维护成本低

•          所需控制器：Controller 6301